Quality Made in Germany since 1995

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探针

探针

  • 集成电路结构的电气测量、电位对比、缺陷检测。
  • 可选件: 软件操作和高温或低温测试。内置压电平移器可将定位精度提高到10 nm,包括压电控制的极平缓定位。
  • 在“FEI 986 FC FIB样品仓的最佳放置位置。
  • 目测定位精度为1 µm

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Prober

  • Elektrische Messungen auf IC-Strukturen, Potentialkontrast, Aufspüren von Defekten.
  • Optionen: Software Betrieb und Versuche bei hohen oder niedrigen Temperaturen. Eingebaute Piezotranslatoren erhöhen die Stellgenauigkeit auf 10 nm inklusive piezo-gesteuertem, extrem schonenden Aufsetzen.
  • Optimale Platzierung in der Probenkammer der ”FEI 986 FC” FIB.
  • Positioniergenauigkeit von 1μm unter Sichtkontrolle.

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Eine Nahaufnahme eines mechanischen Präzisionsgeräts mit mehreren Metallkomponenten, darunter Hebel und Zahnräder, die auf einer flachen, rechteckigen Basis montiert sind. Das Manipulatorengerät scheint für komplizierte mechanische Operationen konstruiert zu sein und weist eine symmetrische Anordnung auf.

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