Elektrische Messungen auf IC-Strukturen, Potentialkontrast, Aufspüren von Defekten.
Optionen: Software Betrieb und Versuche bei hohen oder niedrigen Temperaturen. Eingebaute Piezotranslatoren erhöhen die Stellgenauigkeit auf 10 nm inklusive piezo-gesteuertem, extrem schonenden Aufsetzen.
Optimale Platzierung in der Probenkammer der ”FEI 986 FC” FIB.
Positioniergenauigkeit von 1μm unter Sichtkontrolle.