Quality Made in Germany since 1995

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Manipulatoren

Manipulators

Die elektrische Halbleiterprüfung mit mikroskopischer Unterstützung ist aus der Qualitätskontrolle ebenso wenig wegzudenken, wie aus der Forschung. Insbesondere der Bereich „IC Test“ verlangt nicht nur höchste mechanische Präzision, sondern auch nach immer neuen Instrumenten für Qualitätsprüfung und Forschung.

Prober

  • Elektrische Messungen auf IC-Strukturen, Potentialkontrast, Aufspüren von Defekten.
  • Optionen: Software Betrieb und Versuche bei hohen oder niedrigen Temperaturen. Eingebaute Piezotranslatoren erhöhen die Stellgenauigkeit auf 10 nm inklusive piezo-gesteuertem, extrem schonenden Aufsetzen.
  • Optimale Platzierung in der Probenkammer der ”FEI 986 FC” FIB.
  • Positioniergenauigkeit von 1μm unter Sichtkontrolle.

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Elektrostatische Strahlaustastung

  • Angepasst an die Anforderungen an die Zeitauflösung des Schaltvorganges in der Elektronenstrahl-Lithographie.
  • Optimiert auf kürzeste Rise Time-Werte.
  • Garantiert „100 psec rise time“, tatsächlich gemessen wurden zwischen 50 und 35 Pikosekunden.
  • 40 KeV Primärstrahlenergie können noch mit 5 V Pulsen voll ausgetastet werden.

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Lift-out-Tool

  • Verwendung, um eine Nadel auf einer Probenoberfläche zu positionieren und aufzusetzen, während sie von einem Rasterelektronenmikroskop beobachtet wird.
  • Montage mit einem Adapter an der Decke der Vakuumkammer.
  • Drei orthogonale Bewegungsrichtungen für die Nadel (xyz) sowie Rotation um die eigene Achse.
  • Hochvakuumtaugliche Eigenschaften, Antrieb über Vakuumführung.

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Prober

  • Elektrische Messungen auf IC-Strukturen, Potentialkontrast, Aufspüren von Defekten.
  • Optionen: Software Betrieb und Versuche bei hohen oder niedrigen Temperaturen. Eingebaute Piezotranslatoren erhöhen die Stellgenauigkeit auf 10 nm inklusive piezo-gesteuertem, extrem schonenden Aufsetzen.
  • Optimale Platzierung in der Probenkammer der ”FEI 986 FC” FIB.
  • Positioniergenauigkeit von 1μm unter Sichtkontrolle.

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Eine Nahaufnahme eines mechanischen Präzisionsgeräts mit mehreren Metallkomponenten, darunter Hebel und Zahnräder, die auf einer flachen, rechteckigen Basis montiert sind. Das Manipulatorengerät scheint für komplizierte mechanische Operationen konstruiert zu sein und weist eine symmetrische Anordnung auf.

Elektrostatische Strahlaustastung

  • Angepasst an die Anforderungen an die Zeitauflösung des Schaltvorganges in der Elektronenstrahl-Lithographie.
  • Optimiert auf kürzeste Rise Time-Werte.
  • Garantiert „100 psec rise time“, tatsächlich gemessen wurden zwischen 50 und 35 Pikosekunden.
  • 40 KeV Primärstrahlenergie können noch mit 5 V Pulsen voll ausgetastet werden.

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Ein metallisches mechanisches Bauteil mit verschiedenen zylindrischen Abschnitten und Verbindungsstücken, das einen strukturierten Griff und eine hervorstehende Stange mit geriffelter Oberfläche aufweist. Die polierte Oberfläche lässt vermuten, dass es sich um einen Teil von Robotermanipulatoren handeln könnte, die in einer größeren Maschine oder einem größeren Gerät verwendet werden.

Lift-out-Tool

  • Verwendung, um eine Nadel auf einer Probenoberfläche zu positionieren und aufzusetzen, während sie von einem Rasterelektronenmikroskop beobachtet wird.
  • Montage mit einem Adapter an der Decke der Vakuumkammer.
  • Drei orthogonale Bewegungsrichtungen für die Nadel (xyz) sowie Rotation um die eigene Achse.
  • Hochvakuumtaugliche Eigenschaften, Antrieb über Vakuumführung.

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Eine Nahaufnahme einer präzisen mechanischen Baugruppe mit einem goldfarbenen Hebelarm, der an ein Aushebewerkzeug erinnert und mit einer detailreichen Metallbasis mit mehreren Scharnieren und beweglichen Teilen verbunden ist. Die Baugruppe steht auf einer Metallmontageplatte mit vier Schraubenlöchern.

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