Hochvakuumtaugliches Modul für das REM
Kompakte Bauform: 160 × 65 × 74 mm
Integrierter XY-Tisch (20 × 20 mm Verfahrbereich)
In-situ-Härtemessung mit neigbarer Montage
Rissausbreitung während der Belastung beobachtbar
Hochpräzise Piezo-Aktoren in allen Achsen
Austauschbare Indenter: Vickers, Berkovich, Knoop
Verfahrgeschwindigkeit: 1 nm/s bis 4 mm/s
Lasergestützte Z-Messung mit <3 nm Genauigkeit
Perfekt für gezielte Mikrohärteprüfungen im REM